壹定发具有自主知识产权的MOCVD装备PRISMO HiT3?，，是适用于高质量氮化铝和高铝组分质料生长的要害装备，，反映腔最高温度可大达1400摄氏度，，单炉可生长18片2英寸外延片，，并可延伸到4英寸晶片 。 壹定发高温MOCVD装备PRISMO HiT3专为深紫外LED量产而设计，，是现在业内紫外LED产能先进的高温MOCVD装备 。
用于深紫外LED外延片量产的MOCVD装备
适用于高温氮化铝和深紫外 LED生长的要害装备
优异匀称性和高效能相连系
适合高晶体质量和高AIN生长速率的新颖腔体设计
立异的实时监控系统
工艺温度最高可达1400度，，具有优异的温场匀称性和控制稳固性
具有高稳固性、、自动化的真空传送系统，，抑制颗粒的爆发
界面友好、、全自动化的操作系统
优异的工艺重复性，，简化工艺调解需求，，提高产品良率
单炉可生长18片2英寸外延晶片，，具有较低的生产本钱
集成顶盖升降机构，，简化装备维护，，提高装备使用率
业界领先的UVC LED产能及维护周期
